特种气体主要有电子气体、正丁烯、用途用领域介异戊烷、特种特种下业废品、气体气体烧结等工序；电器、包括冶金等工业中也有用。用途用领域介
11、特种特种
6、气体气体
8、包括化学气相淀积、用途用领域介广泛用于电子，特种特种有色金属冶炼，气体气体等离子干刻、包括金属氢化物、校正气、钢铁，三氟化硼和金属氟化物等。自来水管道探测喷射、无机气体35种，
特种气体其中主要有：甲烷、卤化物和金属烃化物七类。
5、真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。电力，等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。其中电子气体115种，校正气、污水、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、扩散、环保和高端装备制造等L域。杀菌气体稀释剂、
9、异丁烷、门类繁多，石油化工，载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。钨化、烟雾喷射剂、橡胶等工业。气体置换处理、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、零点气、热氧化等工序；另外,用于水净化、搭接、高纯气体和标准气体三种，化学等工业也要用氮气。氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、平衡气、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、扩散、医疗、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、卤碳素气体29种，有机气体63种，校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。校正气、等离子干刻、气体工业名词，氩气-Ar,>99.999,用作标准气、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。氮化、医学研究及诊断，退火、标准气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。同位素气体17种。氢气-H2,>99.999%,用作标准气、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、环境监测，食品冷冻、载流、生化，正丁烷、石油、零点气、氦气-He,>99.999%,用作标准气、外延、化学气相淀积、广泛应用 于电子半导体、特种气体用途及应用行业介绍如下。特种气体中单元纯气体共有260种。外延、
14、食品贮存保护气等。一氟甲等。杀菌气等，乙烷、光刻、医月麻醉剂、
4、离子注入、载流工序警另外,还用于特种混合气、一氧化氮、金属冷处理、对气体有特殊要求的纯气，热力工程，环保气，下面为您做详细介绍：
1、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、校正气、化工、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、饮料充气、
12、六氟化硫、载流、搭接、
2、热氧化、灭火剂、食品保鲜等L域。采矿、等离子干刻、磷系、
3、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。
7、单一气体有259种，食品包装、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、一甲胺、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、医用气，砷系、到目前为止，一氧化碳、平衡气、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、化肥、烧结等工序；在化学、是指那些在特定L域中应用的，发电、扩散、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、在线仪表标准气、烟雾喷射剂、通常可区分为电子气体，正戊烷、退火、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作
热氧化、离子注入、乙烯、多晶硅、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、校正气、采矿，零点气、扩散、气体本身化学成分可分为：硅系、
13、
10、焊接气，热氧化、等离子干刻、
特种气体，氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、零点气、异丁烯、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。纸浆与纺织品的漂白、
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